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a、洁净室的设计 洁净厂房内的洁净生产车间及相关设施有洁净生产间、洁净空间辅助间、管理区、公用动力设备等。在布置洁净室时,力求做到平面形状简洁,功能分区明确,管线隐蔽;合理安排、布置生产洁净区、人员净化、物料净化、工艺设备及相应物料供应管线、净化空调。 b、洁净室的构造及装配、装饰 洁净室的在外围护结构门窗、墙板、吊顶、高效过滤器、灯孔灯具等方面充分考虑其保温、隔热、防火、防潮、密闭性能好等要求,一般选用优质彩钢夹芯板作为墙板、吊顶板材料,不产尘、无裂痕、可擦洗、耐潮湿、板缝平齐、密封,压缝条平直、缝隙小;地面则根据客户要求选择水磨石地面、环氧树脂地面、粘贴地板、通风地板等,力求做到耐磨、耐冲击、耐火、耐侵蚀性好,不易产生静电、表面不易附尘粒等。 c、洁净厂房的施工安装 由于洁净厂房的用途不同,洁净室内生产的产品品种不同,要求的空气洁净等级不同等,因此各种洁净厂房的工程施工内容存在一定的差异。但各类洁净厂房的施工项目基本包含洁净室建筑装饰、净化空调系统、电气照明系统、消防安全系统等。 光电、精密机械等行业用洁净厂房的施工内容主要有:洁净室建筑装饰,净化空调系统及其风管、过滤器的安装,配管系统(一般供水、纯净水等)的安装,变配电、电气系统及其桥架,配管配线的安装等。 | |
复合式:
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)洁净地道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%笼盖使洁净度等级进步至10级以上,可节省安装运转用度。此型式需将功课职员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。
洁净地道另有二项长处:A.弹性扩充轻易; B.维修设备时可在维修区等闲执行。
(2)洁净管道(Clean Tube):将产品流程经由的自动出产线包抄并净化